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激光器及应用系统
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FX系列飞秒板条超快激光器
Edgewave的FX-系列是基于InnoSlab激光技术的飞秒振荡放大系统。
特点
光束质量: M² < 1.5
脉冲能量可达到 100μJ
脉宽600fs
峰值功率可达到 160MW
脉冲重复频率可到 50 MHz
平均功率可达 200W
波长 1030、 515、 3436nm
应用
•光伏产业，如:硅晶园的划片、打孔和切割；薄膜太阳能电池
•印刷工业，如: 印刷轮雕版
•显示领域，如: 构造导电层
•电子行业，如: 印刷电路板的钻孔和切割
•汽车行业，如: 燃油喷射阀门的制造
型号
FXxxx-1
FXxxx-2
FXxxx-3
波长 [nm]
1030
515
343
最gao光束质量 M2
1.1
1.5
最da平均功率 [W]
600
250
50
最da重复频率 [MHz]
最da脉冲能量 [μJ]
3000
1200
最小脉冲宽度 [fs]
400
300
能量稳定性[%] rms
1
2
时序稳定性 [ns]
20
偏振
> 100:1
光束椭圆率（远场）[%]
<10
出光口光斑直径 [mm]
3
全发散角 [μrad]
500
226
指向稳定性 [μrad]
< 100
预热时间，从冷态开始时［min］
15
30
从待机开始 [min]
8
电源
90 - 264V, 50/60Hz或180 - 264V, 50/60Hz
功率
0.5kW-5kW
水冷机
230、208、115、100V，50/60Hz
0.8kW-5kW
工作环境温度
15℃～35℃
相对湿度，非冷凝
10% 至 80%
激光头尺寸
650mm x 298mm x 150 mm
包含冷水机尺寸
19"x 15HU x 700mm
激光头重量
50kg
包含冷水机重量
62-110kg
•工具制造和机械工程，如: 三维快速成型
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